高純氣體中央(yāng)供氣係統是專為高精度分(fèn)析測試設備(bèi)所用高純工作氣體的傳輸而設計,係統需要(yào)為分析設(shè)備提供壓力、流(liú)量穩定且經過長距離傳輸(shū)後純度不變的高純氣體以(yǐ)滿(mǎn)足各種高精度分析設備(bèi)的使用要求。係統同時還應該滿足安全性的要(yào)求,並方便客戶(hù)的日常使用及管理。
一、氣瓶間布局
1.由於存放的氣體由(yóu)於有可燃性氣體和助燃氣體,按國家規定必須分庫存放。分別放入不同的氣瓶間內。
2.氣瓶間(jiān)內設立一次調壓麵板,其中二(èr)托一麵板帶(dài)吹掃銅鍍鉻麵板4套。
3.壓力調節器入口前需加裝燒結金屬過濾器以防止顆粒等雜質汙染係統。
4.所(suǒ)有麵板均配備吹掃閥,可實(shí)現對麵板的清洗置換。
5.壓力調節器(qì)及(jí)相關(guān)管件均需(xū)牢固的固定在壓力調節麵板上,麵板應設計(jì)的緊湊而合理(lǐ),以盡量減少係統中的(de)死體積。
6.壓力調節麵板應采用全不鏽鋼材料製成,並且(qiě)牢固的固定在可靠的位置上,確保其安全性。
7.氣瓶間內存放的氣瓶采用帶(dài)防倒鏈(liàn)的氣瓶支架固定(dìng),氣瓶支架堅固耐用、美觀大方。氣瓶支架采用鋁合金製(zhì)作而成。
8.氣瓶間(jiān)內的氣體鋼瓶與壓力調節器之間(jiān)采用SS316L高壓金(jīn)屬軟管連接無滲透。高壓軟管為柔性軟管,以保證連接的方便性。並自導防護鋼纜,預防極端情況下,鋼(gāng)瓶閥損壞等現象帶來(lái)的高壓“抽鞭”事故。壓力調節器與管道的連接方式為雙環卡套。
9.高壓軟管上的鋼瓶接頭(tóu)必需與鋼瓶角閥的規格相匹配(pèi),以確保(bǎo)連接的(de)可靠性。
10.排空氣路應分類收集、固定牢固並排放至室外安全(quán)地點。
二、終端布局
1.係統(tǒng)設置為二次減壓係統。終端采用壁掛式設計。上設(shè)有壓(yā)力調節器、輸出壓力指示計(jì)、緊急切斷閥(fá),同一氣路的呈上下對(duì)應排布,方(fāng)便操作。麵板為不鏽鋼產品,壁(bì)掛式終端標(biāo)準型:終端(duān)可以(yǐ)實現(xiàn)在室內對設備的壓力調節、輸出壓力的監(jiān)控及氣路開關控製,省去了(le)每日往返於氣(qì)瓶間和實驗間的奔波,提高了辦事效率。
2.控製(zhì)終端上的氣體出口尺寸(cùn)要與分析儀的氣體入口尺寸相對應,氣體出口接頭還應方便安裝。
三、氣路(lù)的布線
1.氣瓶間內壓力調節麵(miàn)板與實驗室內的氣路(lù)終端之間選用SS316LBA管進行(háng)連接,管(guǎn)道(dào)內表麵光潔度為Ra<0.4umBA級管道。
2.4N氮氣主管線采用OD3/8”(6.35mm)的管道,0.5Mpa壓力下流量可(kě)達8M3/小時,完全滿足常規用氣需求,支線采(cǎi)用OD1/4”(6.35mm)的管道(dào)。用焊接三通(tōng)分出支(zhī)路來(lái)對設備進行供氣。
3.5N氮氣(qì)、氦氣、預留氣主管線采(cǎi)用(yòng)OD1/4”(6.35mm)的管道,支(zhī)線采用OD1/4”(6.35mm)的管道。用焊接三通分出支路來對設備進行供氣。
4.管道穿過(guò)障(zhàng)礙物時須(xū)使(shǐ)用(yòng)管套並采用不可燃材料填充間隙。
5.管道之間采用最(zuì)先進的美國全自動定位軌道式氬弧焊機進行內外保(bǎo)護氬弧焊(TIG)方式連接,其優點是泄漏(lòu)率可到(dào)1X10-9s.c.c./sec.He,且不會再內表麵(miàn)產生(shēng)氧化層或褶皺等焊接缺(quē)陷。
6.管路上的三通全部采(cǎi)用焊接三通來實現連接,可更有效(xiào)保證氣體的傳輸質量。
7.管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道(dào)支架(jià)為槽(cáo)鋼結(jié)構美(měi)觀大方(fāng)。與牆體和管道固定牢固。且為耐火材料(鋁(lǚ)合金)製成。
8.氣體管路在鋪設過(guò)程中要做到橫平豎直,為保證管道走線(xiàn)的直(zhí)線度和管道間(jiān)的間距,每間隔一(yī)定距離應設置一組管卡。卡具應由不燃材料製作而成,美觀大方(fāng)。
9.應盡量減少彎曲以防止被傳輸的氣體壓力、流(liú)量損失過大。壓力管道拐彎應力集中區應有安全加固(gù),設計合(hé)適的(de)拐彎半徑,彎(wān)曲部位不能有皺折及扭曲。彎(wān)曲半徑和彎(wān)曲質量由專用工具保證。係統(tǒng)布線應盡量減少接縫以降低泄漏(lòu)的(de)可能性。
10.配管時的每(měi)根管道每個管件均要用(yòng)高壓的5N高純(chún)氮氣進行吹掃才能接入(rù)係統,整個係統安裝完畢後還(hái)要用5N的高純氮進行(háng)大流量氣(qì)體吹掃,以確保係統(tǒng)的潔淨度即流出的氣體無油脂及明顯的固體顆粒物(wù)流出。
11.係統安裝完畢後要(yào)用高純氮氣進行高壓部分、低壓部分氣(qì)密性實(shí)驗,對整個係統(tǒng)進行檢測。
12.壓力調節麵板和氣(qì)路控製(zhì)終端上粘貼氣(qì)路編號、氣體種類、濃度等標識。


