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潔淨室(shì)空氣潔淨度如(rú)何檢測

一、實驗室(shì)之潔(jié)淨室的空氣(qì)潔淨度,應進行(háng)下列測試:

(一)空態、靜態測試
空態測試:潔淨室(shì)已竣工,淨化(huà)空氣調節係統已處於正常運行狀態,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下邊行測(cè)試。
靜態測試:潔淨室淨化(huà)空氣調節係統已處於正常運(yùn)行狀態,工藝設(shè)備已安裝,室內沒有生產人員(yuán)的(de)情況下進行測試。
(二)動態測試 潔(jié)淨(jìng)室已處於正(zhèng)常(cháng)生產狀態下進行測試。
潔淨室的風量、風速、正壓、溫度(dù)、濕(shī)度、噪聲的檢測,可按一般通用、空(kōng)氣調節的有關(guān)規定執行(háng)。
二、空態、靜態測試
(一)測試前的準備
1、應對潔淨室及其淨化空氣調節(jiē)係(xì)統(tǒng)進行徹底清潔。
2、采用光散射粒子計數(shù)器對高效空氣過(guò)濾(lǜ)器進行檢漏測試。首先測定高效空氣(qì)過濾器的上風側靜壓箱(xiāng)內(或風管(guǎn)內)粒徑大於或等於0.5微米的塵粒數應為大(dà)於或等(děng)於30,000粒/升。如若不夠(gòu),可引入煙霧,然後開始檢漏。將粒子(zǐ)計(jì)數器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2--3厘米處,可以2~4厘米/秒的速度移動(dòng),對高效空氣過濾器整個斷麵封頭膠處和安裝框架(jià)處進行掃(sǎo)描。
當粒子計數器讀數為空氣口大於或等於0.5微米的塵粒超(chāo)過(guò)3粒/分·升(或其穿透率(lǜ)大於0.01‰)即認為該處有明顯滲漏,必須進行堵漏。
(二)測試內容
1、總送風(fēng)量(liàng)、總回風量、新鮮空氣(qì)量、排風(fēng)量等;
2、潔淨室壓力值;
3、層流潔淨(jìng)室斷麵風速和氣(qì)流流向;
4、潔淨工(gōng)作區的潔淨度;
5、室內溫度(dù)、濕度及其控製能力的調整測試;
6、潔淨室(shì)內噪聲。
(三)潔淨工作區空氣潔淨度(dù)的測試方法 對於粒徑大於或等於0.5微米的塵粒計數,宜采用光散射(shè)粒子計數法。對於粒徑大於或等(děng)於5微米的塵粒計數。也(yě)可采用濾膜顯微(wēi)鏡計數(shù)法。光散射(shè)粒子計數法:
1、光散射粒子計(jì)數器采樣量 100級:每次采樣(yàng)量大於或等於1升。 l,000級-l0,000級:每次采樣量大於或(huò)等於0.3升。 100,000級:每次采樣量大於或等於0.1升。 對於100級潔淨室,宜采用大流量粒子計數器進行測試; 如果條件不具備(bèi)時,可采用每次采樣量不小於1升的粒子計數(shù)器。
2、采樣注意事(shì)項:
(1)采樣管必須幹淨,連接(jiē)處嚴禁滲漏。
(2)采樣管(guǎn)的長度,應根據儀器的允許長度。當無規定時,不宜大於1.5米。
(3)采樣管口的流速,宜(yí)與潔淨室斷麵(miàn)平均風速相接(jiē)近。測試(shì)人員應在采樣(yàng)口的下風側。
(4)采樣順序應按含塵濃(nóng)度從低到高進行。
3、測點(diǎn)布置
(l)檢測(cè)在潔淨(jìng)工作區內進行。當生產工藝無特殊要求(qiú)時,取樣(yàng)高(gāo)度宜為離地麵1米
(2)層流潔淨室測點總數不小於20點,測點間距為0.5~2.0米,粒(lì)徑大於或等於0.5微米的塵粒數允許有一個點超過。水平層流潔淨室測點僅布(bù)置在第一潔(jié)淨工作區內。
(3)亂流潔淨室可按潔淨麵積(jī)小於或等於50平方米布(bù)置(zhì)5個測點(附圖2)。 每增加20-50平方米(mǐ),增加3--5個測點。
4、數據整理
(1)每個測點(diǎn)的數(shù)據整理應在(zài)測試儀器穩(wěn)定(dìng)運行的條件下連續三次(cì)采(cǎi)樣,取其平均值,即為該(gāi)點的實測數值。
(2)對於大於或等於0.5微米的塵(chén)粒(lì)數確定:層流潔淨室取各測定點最大(dà)值,亂流潔淨室取(qǔ)各測點的平均(jun1)值。
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